选型配置方案
| 适配相机 | 芯片长度/对角线40mm | 芯片长度/对角线28mm | |||
| 主镜筒 | 单光路 | 双光路 | 单光路 | 双光路 | |
| 管径焦距 | 180 | 200 | |||
| 观察方式 | 明场/暗场/DIC | ||||
| 照明方式 | 明场 | 集成明场照明 (TDI线阵) /外置明场照明(面阵飞拍) | |||
| 暗场 | 外置暗场照明*1 | ||||
| 工作波长范围 | 可见光 | 400-1700nm | |||
| 物镜电动转换器 | 直排式2-4孔&平面旋转式4孔，可按需定制 | ||||
| 物镜 | 大视野物镜 | 2X/5X/10X | / | ||
| 成像精度*2（5um像元） | 2.5um/1um/0.5um | / | |||
| 高清物镜 | / | 5X/10X/20X | |||
| 成像精度*2（5um像元） | / | 1um/0.5um/0.25um | |||
| 标准视野物镜 | 2X/5X/10X/20X/50X | ||||
| 成像精度*2（5um像元） | 2.5um/1um/0.5um/0.25um/0.1um | ||||
| 最大有效视野 | 大视野物镜*2 | 18mm/7.2mm/3.6mm | / | ||
| 标准视野物镜*2 | 13mm/5.2mm/2.6mm/1.3mm/0.52mm | ||||
| 外观尺寸 | 参见3D图纸 | ||||
| 主体重量 | 根据配置确定 | ||||
| 适用场景 | 半导体晶圆检测/量测，生物细胞观察，导电粒子检测，高精度成像 | ||||
*1 暗场可选配LED/激光冷光源+环形光纤
*2 该项参数基于8K/5um相机计算得出
鸿鹄自动对焦模块
LA系列
| 类别 | LAW6 | LAW7 |
| 激光波长（nm) | 660 | 785 |
| 激光安全等级 | 3B级 | |
| 通讯方式 | 高速以太网 | |
| 结构光模式 | 线段 | |
| 对焦方式 | 同轴激光自动对焦系统 | |
| 对焦速度 | 实时追焦 | |
| 内部更新频率（HZ) | 5000(Max) | |
| 静态对焦精度 | 1/4物镜DOF | |
| 动态对焦精度 | 1/2物镜DOF | |
| 工作温度 | 0-50℃ | |
| 净重 | 792g | |
| 样品反射率 | 1%-99% | |
| 对焦工作范围（um) | 40000（2X物镜） | |
| 12000（5X物镜） | ||
| 4000（10X物镜） | ||
| 1500（20X物镜） | ||
| 500（50X物镜） | ||
应用案例
| 检测要求 | 成像方案（面扫描） | |||||
| 缺陷类型 | 精度 | 相机 | 物镜 | 照明 | 精度 | 视野 |
| 脏污、氧化等 | 1um | 6500万彩色 | 5X | 同轴照明 | 0.7um | 5.8*4.4mm |
| 检测要求 | 成像方案（面扫描） | |||||
| 缺陷类型 | 精度 | 相机 | 物镜 | 照明 | 精度 | 视野 |
| 移位 | 0.5um | 2500万黑白 | 10X | 同轴照明 | 0.45um | 2.3*2.3mm |
| 检测要求 | 成像方案（线扫描） | |||||
| 粒子大小 | 节拍 | 相机 | 物镜 | 照明 | 精度 | 视野 |
| 1-3um | 3.5s/pcs | 8k/5um | 10X | 同轴照明 | 0.5um | 3.6mm |
| 检测要求成像方案（线扫描） | Review方案（面扫描） | ||||||||
| 相机 | 物镜 | 照明 | 精度 | 视野 | 相机 | 物镜 | 照明 | 精度 | 视野 |
| 8K/5um | 5X | 同轴照明 | 1um | 7.2mm | 1200万高速相机 | 10X | 同轴光源 | 0.5um | 1.4*1mm |
